Обязанности: Работа в чистом помещении (класс чистоты ISO4); Знание технологических процессов (жидкостная химия, плазмохимия, фото- и электронолитография, вакуумное напыление тонких пленок, шлифовка, полировка, дисковая резка, лазерная обработка) и технологических модулей (формирование омических контактов, металлических резисторов, затвора, воздушных мостов, межсоединений, отверстий и тд.) изготовления приборов на монолитных интегральных схем СВЧ диапазона на основе соединений группы AIIIBV. Работа с технологической документацией; Ведение прибора на протяжении всего технологического маршрута; Контроль после каждого технологического модуля; Составление отчетов; Проведение экспериментов для отработки технологических процессов; Анализ полученных данных с последующей корректировкой технологических процессов и маршрутных карт; Работа с технологическим оборудованием и на установках. Достижения: Проведение и отработка процессов формирования активных (транзисторов, диодов) и пассивных (конденсаторов, резисторов) элементов схем в едином технологическом цикле; Проведение и контроль процесса локального травления подзатворного углубления при формировании затвора транзистора и диода; Доводка резисторов до номинала; Контроль топологии и измерение габаритных размеров сформированных элементов на сканирующем электронном микроскопе; Контроль и измерение электрических параметров: тока насыщения, крутизны вольт-амперных характеристик, напряжения отсечки, пробивных напряжений; Составление и корректировка маршрутной карты прибора; Сбор статистики; Анализ брака и разработка мероприятий по его уменьшению и увеличению выхода годных. Работа с оборудованием: Сканирующий электронный микроскоп Merlin Compact VP, Leo 1430 VP, Zeiss Gemini SEM 500. Оптические микроскопы Olimpus GX-51, Axiotron. Профилометр Dectak 150. Автоматическая система четырехзондового измерения поверхностного сопротивления ResMap 168. Установки химического травления Produce 200 Acid, Produce 200 Solvent, Ramgraber Solvent Wet Bench. Зондовые станции Л2-56, Л2-108. Знакома с установками вакуумного напыления (Evatec ВАК) и плазмохимических процессов (Сorial). С 2021 г. есть опыт сборки и настройки генераторов для РЛС. |